Contrôleur de dépôt de couches minces pour des procédés mono-couche ou multi-couches.
Grâce au contrôleur de dépôt de couches minces XTC/3 , vous obtenez un contrôle précis de la vitesse de dépôt et de son épaisseur ainsi que la posibilité de voir virtuellement le nombre de couches.
Caractéristiques
Modèles disponibles pour mono-couche ou multi-couches
Compatible INFICON Crystal 12®, Crystal Six®, et les sondes dual sensor.
Le modèle multi-couche XTC/3M supporte jusqu'à 99 process, 999 couches, 32 matériaux, 2 sondes et 2 sources
Le modèle mono-couche XTC/3S supporte jusqu'à 9 épaisseurs, 2 sondes et 2 sources.
Connection ethernet possible
Entièrement automatique (pas d'ordinateur nécessaire) ou logiciel optionnel Windows®
Remplacement plug-and-play pour les contrôleurs INFICON XTC/2 (limité aux jeux de commande XTC/2)